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1. 設(shè)計與開發(fā)：

（1）根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備（如刻蝕機(jī)、CVD、PVD、離子注入機(jī)等）的具體工藝需求和真空腔室要求，設(shè)計新型真空閥門（如閘板閥、角閥、擺閥、隔膜閥等）或改進(jìn)現(xiàn)有設(shè)計。 （2）進(jìn)行詳細(xì)的機(jī)械設(shè)計，包括結(jié)構(gòu)設(shè)計、運(yùn)動機(jī)構(gòu)設(shè)計、密封設(shè)計（金屬密封、彈性體密封）、材料選擇（需考慮超高真空兼容性、耐腐蝕性、低放氣性、無磁性等）。

（3） 利用CAD軟件（如SolidWorks, Creo, CATIA, NX）進(jìn)行3D建模和2D工程圖紙繪制。 （4）進(jìn)行公差分析、應(yīng)力分析（靜力學(xué)、動力學(xué)）、熱變形分析、模態(tài)分析等，確保設(shè)計的可靠性和性能。

（5） 設(shè)計或選擇與閥門配套的驅(qū)動機(jī)構(gòu)（氣動、電動、壓電等）、反饋傳感器（位置、力）和連接部件。 2. 分析與仿真： （1）運(yùn)用有限元分析工具進(jìn)行結(jié)構(gòu)強(qiáng)度、剛度、疲勞壽命、熱應(yīng)力、振動等仿真分析。

（2） 進(jìn)行流體動力學(xué)分析，優(yōu)化閥門流導(dǎo)、減少氣流擾動和顆粒產(chǎn)生。 （3） 參與或主導(dǎo)閥門開關(guān)動態(tài)特性（速度、沖擊、平穩(wěn)性）的仿真與優(yōu)化。 3. 原型制造與測試： （1）與供應(yīng)商或內(nèi)部制造團(tuán)隊(duì)協(xié)作，確保原型零件和組件的精密加工符合圖紙和規(guī)范要求。 （2） 搭建測試平臺，制定詳細(xì)的測試計劃（包括功能測試、性能測試、壽命測試、環(huán)境測試）。

（3） 執(zhí)行真空閥門的關(guān)鍵性能測試：真空性能、密封性能、運(yùn)動性能、耐久性/壽命、循環(huán)壽命測試等。 4. 工藝與制造支持：將設(shè)計成功轉(zhuǎn)移到量產(chǎn)階段，制定詳細(xì)的生產(chǎn)工藝規(guī)范和質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)；解決量產(chǎn)過程中出現(xiàn)的機(jī)械設(shè)計、裝配、測試相關(guān)的技術(shù)問題；優(yōu)化設(shè)計以提高可制造性、降低成本、提升良率； 審核供應(yīng)商的制造能力和質(zhì)量控制流程。 5. 跨職能協(xié)作與問題解決： （1）與電氣工程師協(xié)作，設(shè)計或優(yōu)化閥門驅(qū)動和控制系統(tǒng)。 （2）與工藝工程師緊密合作，理解工藝需求對閥門性能的具體要求（如快速響應(yīng)、高密封性、低顆粒產(chǎn)生、耐等離子體腐蝕）。 （3）與系統(tǒng)工程師、應(yīng)用工程師合作，將閥門集成到整機(jī)設(shè)備中，解決系統(tǒng)層面的接口和性能問題。 （4） 為生產(chǎn)、客戶支持和現(xiàn)場服務(wù)團(tuán)隊(duì)提供技術(shù)支持，快速有效地解決閥門相關(guān)的故障和客戶投訴，進(jìn)行根本原因分析。 6. 文檔與規(guī)范： （1）編寫和維護(hù)設(shè)計規(guī)范、測試報告、失效模式與影響分析、操作維護(hù)手冊等技術(shù)文檔。 （2）確保設(shè)計符合相關(guān)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（如SEMI標(biāo)準(zhǔn)）和客戶特定要求。

（3） 管理設(shè)計變更流程。 7. 技術(shù)創(chuàng)新與改進(jìn)： （1）跟蹤行業(yè)技術(shù)發(fā)展趨勢（新材料、新結(jié)構(gòu)、新驅(qū)動技術(shù)、新密封技術(shù)等）。 （2）識別現(xiàn)有產(chǎn)品的性能瓶頸或成本優(yōu)化機(jī)會，提出并推動創(chuàng)新解決方案。 （3） 參與專利申請和技術(shù)評審。

二、崗位職責(zé)

1. 學(xué)歷與專業(yè)： 碩士及以上學(xué)歷，主修機(jī)械工程、精密儀器、機(jī)電一體化、材料科學(xué)與工程或相關(guān)專業(yè)； 扎實(shí)的工程力學(xué)（靜力學(xué)、動力學(xué)、材料力學(xué)）、機(jī)械原理、機(jī)械設(shè)計、公差分析基礎(chǔ)。 2. CAD精通：熟練使用至少一款主流3D CAD軟件（SolidWorks, Creo (Pro/E), CATIA, NX），能獨(dú)立完成復(fù)雜裝配體設(shè)計和工程圖紙輸出（含GD&T）。 3.CAE基礎(chǔ)：掌握有限元分析（FEA）原理，有使用ANSYS, Abaqus, COMSOL或類似工具進(jìn)行結(jié)構(gòu)應(yīng)力、熱變形、模態(tài)分析的經(jīng)驗(yàn)。 4.機(jī)械設(shè)計能力： 精通傳動機(jī)構(gòu)、運(yùn)動學(xué)設(shè)計、密封結(jié)構(gòu)（金屬/彈性體）、軸承選型、材料選擇與熱處理工藝。 5.真空技術(shù)基礎(chǔ)：理解真空基礎(chǔ)理論（氣體分子運(yùn)動論、流導(dǎo)計算、抽速）； 熟悉超高真空（UHV）環(huán)境（通常要求 ≤10?? Pa）對材料和設(shè)計的特殊要求（低放氣、耐烘烤）；了解常用真空泵、真空計及氦質(zhì)譜檢漏儀原理與操作（能解讀泄漏率數(shù)據(jù)）。 4. 材料知識： 熟悉超高真空兼容材料特性（如不銹鋼316L、無氧銅、鋁合金、陶瓷、特種聚合物如PEEK、Vespel、Kalrez等）；了解材料放氣率、耐腐蝕性（針對Cl?, HBr, CF?等蝕刻氣體）、無磁性、熱膨脹系數(shù)匹配等關(guān)鍵屬性。 5.必須會日語，能夠與日本團(tuán)隊(duì)溝通無阻。

6. 經(jīng)驗(yàn)要求：3-5年以上精密機(jī)械設(shè)計、真空設(shè)備或半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵部件開發(fā)經(jīng)驗(yàn)； 有**閥門類產(chǎn)品（尤其是真空閥） 或高精度運(yùn)動機(jī)構(gòu)的設(shè)計、測試、量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)者優(yōu)先。 7.能夠接受出差。