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1、確保光刻相關(guān)工藝的穩(wěn)定，熟練操作工藝設備并處理工藝異常； 2、負責擬定光刻工藝開發(fā)計劃，開發(fā)流程及新工藝驗證標準； 3，負責光刻機及光刻相關(guān)設備的安裝調(diào)試、驗收、異常處理和日常維護； 4，監(jiān)控產(chǎn)品數(shù)據(jù)、良率等，及時調(diào)整以保證產(chǎn)品質(zhì)量； 5，配合研發(fā)部門進行新技術(shù)研發(fā)，完成研發(fā)部門的新技術(shù)轉(zhuǎn)移工作； 6，制定工藝規(guī)范文件，對技術(shù)員/操作人員技能培訓； 7，光刻區(qū)事務管理以及完成上級安排的其它事宜。